先导薄膜材料(安徽):钽靶材专利开启镀膜高质量时代

先导薄膜材料(安徽)有限公司在2024年11月申请的一项“一种钽靶材及其制备方法和应用”专利,介绍了该专利在靶材制备领域的创新之处以及公司的相关情况。

据金融界2025年3月17日消息,国家知识产权局的信息表明,先导薄膜材料(安徽)有限公司申请了一项极具价值的专利,专利名称为“一种钽靶材及其制备方法和应用”,其公开号为CN 119615032 A,申请日期定格在2024年11月。

从专利摘要来看,此项发明归属于靶材制备领域。该发明具体公开了一种钽靶材以及它的制备方法和应用。在该发明所采用的方法中,对钽锭会依次开展应力退火、冷锻压和热处理等操作。之后还会进行两阶段不同方向的轧制,并且进行中间静压处理以及再结晶退火。值得一提的是,这些步骤之间相互配合、相辅相成。通过这样一系列科学且严谨的操作,使得钽靶材的晶粒分布变得更加均匀,晶粒也变得更细。同时,{111}晶粒取向的比例更高。而这些改变能够有效控制溅射的速率以及溅射稳定性,提高溅射镀膜的均匀性,最终实现提高成膜质量的目的。

根据天眼查资料可知,先导薄膜材料(安徽)有限公司成立于2022年,公司坐落在合肥市。这是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。该企业的注册资本为25500万人民币,并且实缴资本同样为25500万人民币。通过天眼查的大数据分析,我们可以了解到,先导薄膜材料(安徽)有限公司参与招投标项目达到了11次,拥有专利信息248条。此外,企业还拥有6个行政许可。

本文介绍了先导薄膜材料(安徽)有限公司申请的“一种钽靶材及其制备方法和应用”专利,阐述了该专利在提高成膜质量方面的创新点,同时介绍了公司的基本情况。该专利的出现有望在靶材制备领域带来积极影响,提升相关产业的技术水平。本文总结

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